作为一种测量仪器，
悬臂式测量机通过比较被测的量与标准量，并将比较结果用数值表示出来。因此，测量机需要3个方向的标准器，利用导轨实现沿相应方向的运动，还需要三维测头对被测量进行探测和瞄准。
温度误差又称为热变形误差。但需要说明，它不是温度本身的误差，而是由于温度因素而引起的几何参数的测量误差。形成温度误差的主要因素有以下几个：
1、被测物体的尺寸随温度变化。即被测物体的线膨胀系数不可能为零。目前很多常用材料的线膨胀系数都有公布的相关数据，可以很容易地查到其线膨胀系数。
2、测量机本身尺寸随温度变化。比如简单的卡尺千分尺，到复杂的悬臂式测量机，其本身的制造材料线膨胀系数不可能为零，所以测量机本身结构尺寸会发生变化。这种误差产生的原因，也是我们主要讨论和解决的问题。
3、测量机性能随温度发生变化。比如电子测量仪器，内部的放大器的增益随温度发生变化；光电管的光电流发生变化等等。
一般测量仪器传感器厂家，都会给出这些仪器本身的温度相关参数。比如基恩士的激光位移传感器LK-H025，标称温度特性为0.01%F.S./°C(F.S.=6mm)。
4、其它环境因素，比如在大多数的光学测量设备，由于温度变化而引起大气折射率的变化；超声测量设备中，介质温度变化会引起介质中传播的声速发生变化。
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